Спаттеринг
Спаттеринг - процесс бомбардировки какой-либо основы атомами металлов, диэлектриков или полупроводниковых материалов. При такой бомбардировке на поверхности основы образуется тончайшая пленка (толщина слоя определяется заранее). Спаттерные аппараты спроектированы для внедрения атомных слоев в поверхность гибкой основы, причем площадь основы может быть очень широка.
